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沈陽東創(chuàng)貴金屬材料有限公司
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鎢-鈦（W-Ti）膜以及以鎢-鈦（W-Ti）為基的合金膜是高溫合金膜，具有一系列的優(yōu)良性能。鎢具有高熔點、高強度和低的熱膨脹系數(shù)等性能，W/ Ti 合金具有低的電阻系數(shù)、良好的熱穩(wěn)定性能。如各種器件都需要起到導電作用的金屬布線，例如Al 、Cu 和Ag 等已經(jīng)被廣泛的應用和研究。但是布線金屬本身易 氧化、易與周圍的環(huán)境發(fā)生反應，與介質(zhì)層的粘結(jié)性差，易擴散進入Si 與SiO2 等器件的襯底材料中，并且在較低的溫度下會形成金屬與Si 的化合物， 充當了雜質(zhì)的角色，使器件的性能大幅度下降。
各種純度鋁中的雜質(zhì)含量及剩余電阻率如表2所示。超純金屬超純的純度也可以用剩余電阻率來測定，貴金屬靶材報價，其值約為2×10-5。現(xiàn)代科學技術(shù)的發(fā)展趨勢是對金屬純度要求越來越高。因為金屬未能達到一定純度的情況下，金屬特性往往為雜質(zhì)所掩蓋。不僅是半導體材料，其他金屬也有同樣的情況，由于雜質(zhì)存在影響金屬的性能。
鎢過去用作燈泡的燈絲，由于脆性而使處理上有困難，在適當提純之后，貴金屬靶材價格，這種缺點即可以克服（鎢絲也有摻雜及加工問題）。
超純金屬，指的化學雜質(zhì)和物理雜質(zhì) (晶體缺陷) 含量的金屬。目前主要以化學雜質(zhì)的含量為標準，常以雜質(zhì)在金屬中總含 量的百萬分之幾表示 。超純金屬是相對高純度的金屬，一般指金屬純度達到純度9以上的金屬，河北貴金屬靶材，物理雜質(zhì)的概念才是有意義的。
材料的純度對其性能，特別是微電子學、光電子學性能影響很大，現(xiàn)代高技術(shù)產(chǎn)業(yè)要求制備出超純金屬以利于制作器件。
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第9年
