潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣,以排替、稀釋室內(nèi)產(chǎn)生的顆粒污染物來實現(xiàn)的。為此,測定潔凈室或潔凈設(shè)施的送風(fēng)量、平均風(fēng)速、送風(fēng)均勻性、氣流流向及流型等項目十分必要。
單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此,其送風(fēng)斷面風(fēng)速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風(fēng)速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過程產(chǎn)生的污染物,因此它們是主要關(guān)注的檢測項目。
非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染物以維持其潔凈度。因此,換氣次數(shù)越大,氣流流型合理,稀釋效果越顯著,潔凈度也相應(yīng)提高。所以非單相流潔凈室、潔凈區(qū)的送風(fēng)量及相應(yīng)的換氣次數(shù),是主要關(guān)注的氣流測試項目。
潔凈室設(shè)計參數(shù):
●換氣次數(shù):
十萬級10-15次/小時;
萬級15-25次/小時;
千級50-52次/小時;
百級操作臺斷面風(fēng)速0.25-0.35m/s
●壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa。
●溫度:冬季>16℃±2℃;夏季<26℃±2℃;
●相對濕度:45-65%(RH);噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補充量:總送風(fēng)量的20%-30%;
●照度:≥300Lux。
無塵車間可以分為以下幾個級別:
1級這個級別的潔凈室主要用于制造集成電路的微電子工業(yè),對集成電路的要求為亞微米。
10級這個級別的潔凈室主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。
100級很多人認(rèn)為,這一級無塵車間是常用因而是重要的無塵車間,人們常常錯誤地將100級無塵車間稱為無菌室,以說明“無菌”的或“無塵”的環(huán)境要求,100級無塵室可用于工業(yè)的無菌制造工藝等,這一無塵車間大量應(yīng)用于,植如體內(nèi)物品的制造,手術(shù),包括移植手術(shù),集成器的制造,那些對特別敏感的的隔離。
1000級這個級別的潔凈室主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn),還用于測試,裝配飛機(jī)蛇螺儀,裝配高質(zhì)微型軸承等。
10000級萬級無塵車間用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業(yè),此外,萬級無塵車間在醫(yī)工業(yè)中也很常用。100000級十萬級潔凈室用于很多的工業(yè)部門,比如光學(xué)產(chǎn)品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng),電池隔膜凈化車間施工,液壓或氣壓系統(tǒng)的制造,食品飲料的生產(chǎn),工業(yè)也常常使用這一級無塵車間。
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