四甲基氫氧化銨（TMAH）是一種化學物質(zhì)，具有較強的腐蝕性。其分子式是C4H13NO，即氫氧化銨的四個氫離子被甲基取代后形成的化合物具有一個強堿性的OH根團和TMA+陽離子部分。以下是對該化合物的優(yōu)缺點的分析：

優(yōu)點

*化學性質(zhì)穩(wěn)定：優(yōu)秀的熱穩(wěn)定性使其具有高度可靠性；在不超過分解溫度時非常穩(wěn)定且易于去除、不留殘渣污染產(chǎn)品。。*溶解性強：作為極性溶劑中的堿性試劑能夠有效地溶解大多數(shù)有機物,在許多情況下可以代替無機鹽或醇類使用。此外它還可以用作酸性催化劑的優(yōu)良來源以及極譜試劑等..

*應(yīng)用廣泛多樣:在染料生產(chǎn)領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用;也常用于醫(yī)藥及農(nóng)藥制造過程之中;還可用作磺酸型交換樹脂合成原料、電鍍工業(yè)陽極活化劑和除去過氧化物的添加劑；在分析方面用于提純金屬元素以及在有機硅片生產(chǎn)中常用到光亮清洗觸刻等方面上等等......同時它還是半導(dǎo)體工藝中常用的蝕刻板正膠顯影液之一，與CMOS工藝兼容并推動SOC發(fā)展趨勢的實現(xiàn)者呢！