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分子泵過(guò)流保護(hù)維修方法
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  • 分子泵過(guò)流保護(hù)維修方法分子泵過(guò)流保護(hù)觸發(fā)通常由電流異常升高引起,可能由機(jī)械卡阻、電路故障或負(fù)載異常導(dǎo)致。以下是維修流程及注意事項(xiàng):1. 故障診斷 - 斷電檢查:首先斷開(kāi)電源,使用萬(wàn)用表測(cè)量電機(jī)繞組阻值,判斷是否存在短路或斷路。三相電機(jī)需檢測(cè)各相間阻值是否平衡。 - 機(jī)械檢查:手動(dòng)旋轉(zhuǎn)葉輪,確認(rèn)是否存在卡滯或異物。若阻力異常,需拆解泵體檢查軸承磨損、葉片變形或油污堆積。 - 電路檢測(cè):檢查驅(qū)動(dòng)板IGBT模塊、電容是否擊穿,重點(diǎn)排查過(guò)流保護(hù)繼電器及電流傳感器的輸出信號(hào)是否正常。2. 維修步驟 - 清理維護(hù):若因油污導(dǎo)致摩擦增大,需用無(wú)塵布蘸取清洗劑清理轉(zhuǎn)子腔及軸承部位,更換老化密封圈。 - 更換部件:損壞的軸承需選用原廠(chǎng)同型號(hào)產(chǎn)品,安裝時(shí)使用液壓工具保證軸向預(yù)緊力符合標(biāo)準(zhǔn)(通常0.02-0.05mm間隙)。 - 電路維修:燒毀的MOSFET或驅(qū)動(dòng)芯片需更換,重新焊接后需用示波器檢測(cè)PWM波形是否正常,確保電流波動(dòng)在額定值±10%以?xún)?nèi)。3. 調(diào)試校準(zhǔn) - 空載試運(yùn)行:上電后以20%額定轉(zhuǎn)速運(yùn)行30分鐘,監(jiān)測(cè)電流是否穩(wěn)定(通?!軜?biāo)稱(chēng)電流的60%)。 - 逐步升速測(cè)試:每15分鐘提升25%轉(zhuǎn)速至全速,記錄振動(dòng)值(應(yīng)<4.5mm/s)和溫度(軸承溫升≤40℃)。4. 預(yù)防措施 - 定期更換潤(rùn)滑脂(建議2000小時(shí)/次),使用黏度等級(jí)VG32以上的真空油脂。 - 安裝入口過(guò)濾器(精度≤10μm),防止顆粒物進(jìn)入泵腔。 - 每季度檢測(cè)接地電阻(≤4Ω),避免靜電積累導(dǎo)致控制板故障。注意事項(xiàng):維修需在Class100以上潔凈環(huán)境進(jìn)行,拆裝轉(zhuǎn)子需使用平衡夾具。若反復(fù)觸發(fā)過(guò)流保護(hù),可能為分子泵與真空系統(tǒng)匹配不當(dāng),需重新計(jì)算負(fù)載曲線(xiàn)。復(fù)雜故障建議聯(lián)系原廠(chǎng)技術(shù)支持,避免盲目操作擴(kuò)大損傷。

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